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  • 步入式恒温恒湿试验箱

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埋层硅外延片

国家标准 推荐性 即将实施

国家标准《 埋层硅外延片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准委。

主要起草单位南京国盛电子有限公司西安龙威半导体有限公司上海晶盟硅材料有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司中环领先半导体材料有限公司浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司南京盛鑫半导体材料有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司河北普兴电子科技股份有限公司盖泽华矽半导体科技(上海)有限公司赛晶亚太半导体科技(浙江)有限公司

主要起草人仇光寅王银海谢进骆红贺东江马林宝顾广安李慎重李春阳徐西昌徐新华袁夫通刘小青米姣周益初张强

基础信息

  • 标准号:GB/T 44334-2024

  • 发布日期:2024-08-23

  • 实施日期:2025-03-01

  • 部分代替标准:暂无

  • 全部代替标准:暂无

  • 标准类别:产品

  • 中国标准分类号:H82

  • 国际标准分类号:29电气工程29.045半导体材料

  • 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

  • 执行单位:暂无

  • 主管部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

采标情况

暂无

起草单位

南京国盛电子有限公司

上海晶盟硅材料有限公司

中环领先半导体材料有限公司

南京盛鑫半导体材料有限公司

河北普兴电子科技股份有限公司

赛晶亚太半导体科技(浙江)有限公司

西安龙威半导体有限公司

浙江金瑞泓科技股份有限公司

浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司

有色金属技术经济研究院有限责任公司

盖泽华矽半导体科技(上海)有限公司

起草人

仇光寅

王银海

贺东江

马林宝

李春阳

徐西昌

刘小青

米姣

谢进

骆红

顾广安

李慎重

徐新华

袁夫通

周益初

张强

相近标准

20243061-T-469 300 mm硅外延片

GB/T 14139-2019 硅外延片

GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片

GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅

GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

20240139-T-469 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

GB/T 43885-2024 碳化硅外延片

SJ/T 11470-2014 发光二极管外延片

YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

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