正压悬浮区熔单晶硅炉
行业标准
电子
现行
基础信息
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标准号：SJ/T 11853-2022
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发布日期：2022-10-20
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实施日期：2023-01-01
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制修订：制定
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代替标准：暂无...
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中国标准分类号：L 97
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国际标准分类号：31.22
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技术归口：暂无...
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批准发布部门：工业和信息化部
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标准类别：产品标准
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行业分类：无
备案信息
备案号：94255-2024
备案日期：2024-05-31
备案月报：2024年第5号(总第289号)
适用范围
暂无...
起草单位
暂无...
起草人
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