碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
行业标准
有色金属
现行
基础信息
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标准号：YS/T 1600-2023
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发布日期：2023-04-21
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实施日期：2023-11-01
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制修订：制定
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代替标准：暂无...
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中国标准分类号：H17
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国际标准分类号：77.040.30
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技术归口：暂无...
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批准发布部门：工业和信息化部
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标准类别：方法标准
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行业分类：制造业
备案信息
备案号：93568-2024
备案日期：2024-03-14
备案月报：2024年第3号(总第287号)
适用范围
本文件适用于碳化硅单晶中杂质元素含量的测定。
起草单位
暂无...
起草人
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